サファイアチューブ&ロッド
極めて高純度で長寿命な半導体用サファイアチューブとサファイアインジェクター。 石英とセラミックを置き換えます。 サファイアは、積極的なプロセス化学薬品の使用を拡大できる技術であることが証明されています。これらの機能は、石英やセラミックのコンポーネントでは不可能です。
詳細については、当社の公式ウェブサイトをご覧ください。www.ch-microwork.com
典型的なサファイア ロッドおよびチューブの用途:
ライトパイプ/ガイド
ガイシ
リフトピン
フィードスルー